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EJA变送器的微机械处理单晶硅

博客文章分类: 商业服务 其它 德科蒙过程控制(武汉)有限公司 发表于 2020年8月3日

 EJA变送器传感器上微加工两个H型振子,均具有高频输出。施加压力时,H型振子同时受力,一个受到压力,另一个受到拉力。谐振频率发生相应的变化,从而产生与作用压力直接成比例的高差压输出(kHz),这一简单的时间函数由微处理器管理

EJA变送器的微机械处理单晶硅,可以提高稳定性和再现性,消除滞后现象;温度的影响是其他硅技术(10 ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是条件最苛刻的过程应用中都可以确保出色的稳定性。相比模拟传感器,硅谐振传感器输出可以产生更高的信噪比,硅谐振传感器的输出至少是其前任产品压阻式硅传感器的四倍。其中,温度和静压产生的误差在整体输出中可忽略不计。双频励磁是在低频率上叠加高频率,利用高频和低频励磁方式各自优点的同时,消除各自的缺点。也就是说,同时实现了高频励磁方式的流体噪声抑制和快速响应,低频励磁方式的零点稳定性。浆液或低电导率流体测量中的噪声是1/f的函数,频率越低,噪声越高。然而,普通的高频励磁方式存在零点稳定性低的问题。而双频励磁方式在保证高频采样噪声抑制的同时,可以获得大时间常数下低频采样的高零点稳定性。所以,这种方式下的输出信号既无噪声,而且零点稳定性好。武汉德科蒙过程控制有限公司027-88062221传真:027-88068180网址:http://www.wuhandekema.com/PARent;">ABSolute;top:0;border:0;width:undefinedpx;height:undefinedpx;" frameborder="0" src="https://googleads.g.doubleclick.net/pagead/ads?client=ca-pub-6745515041074118&ouTPUt=html&adk=1812271804&adf=3279755396&plat=1%3A32776%2C2%3A32776%2C8%3A134217728%2C9%3A134250504%2C10%3A32%2C11%3A32%2C16%3A8388608%2C17%3A32%2C24%3A32%2C25%3A32%2C30%3A1081344%2C32%3A32%2C40%3A32&guci=2.2.0.0.2.2.0.0&format=0x0&url=https%3A%2F%2Fwww.bizrobot.com%2Fcompany_bloginfo.php%3Fact%3D1&ea=0&flash=28.0.0&pra=5&wgl=1&dt=1596423649163&bpp=10&bdt=206&idt=124&shv=r20200729&cbv=r20190131&ptt=9&saldr=aa&cookie=ID%3Df208fc56032ec04a%3AT%3D1593744628%3AS%3DALNI_MaABeD0Rnds5ibsAY_rTtdEcMXDHw&nras=1&correlator=5518614529069&frm=23&ife=1&pv=2&ga_vid=646730145.1596423649&ga_sid=1596423649&ga_hid=263883607&ga_fc=0&iag=3&icsg=42&nhd=1&dssz=4&mdo=0&mso=0&u_tz=480&u_his=6&u_java=0&u_h=1080&u_w=1920&u_ah=1030&u_aw=1920&u_cd=24&u_nplug=11&u_nmime=26&adx=-12245933&ady=-12245933&biw=1452&bih=771&isw=730&ish=360&ifk=2699508910&scr_x=0&scr_y=0&eid=44724796%2C42530558%2C42530560%2C21066533&oid=3&pvsid=3281759733331108&pem=596&ref=https%3A%2F%2Fwww.bizrobot.com%2Fcompany_bloginfo.php&rx=0&eae=2&fc=1920&brdim=598%2C139%2C598%2C139%2C1920%2C0%2C1473%2C771%2C730%2C360&vis=1&rsz=%7C%7Cs%7C&abl=NS&fu=8204&bc=29&ifi=0&uci=0.4w6d592kh2co&dtd=144" marginwidth="0" marginheight="0" vspace="0" hspace="0" allowtransparency="true" scrolling="no" allowfullscreen="true" data-google-container-id="0.4w6d592kh2co" data-load-complete="true">

   
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