|
硅片处理剂是半导体和光伏产业中用于硅片表面处理的关键化学制剂,主要包括清洗剂、抛光剂、切割液等类型。——未知物分析、成分剖析、配方分析、异物分析、工艺开发等服务商罗工13458673265。一、主要原料与成分碱性成分:硅酸钠等提供皂化碱度,用于去除有机污染物表面活性剂:如TX-10、TEXZO-NM等非离子表活,增强渗透和分散能力络合剂:EDTA类化合物,有效螯合金属离子(如铜、铁)溶剂体系:二等助溶剂,提高有机物溶解性特殊添加剂:缓蚀剂(防止硅片腐蚀)、消泡剂(适配超声波清洗)二、典型配方示例双组份清洗剂:A剂含+缓蚀剂,B剂为表面活性剂复配物,使用时按1:0.5~1比例混合RCA标准清洗液:SC1:NH3OH+H2O2+H2O(1:1:5),去除颗粒和有机物DHF:稀释,去除氧化层和金属污染切割液:聚乙二醇基+碳化硅磨料,实现高悬浮切割三、核心功效清洁作用:去除油脂(洗净率>99%)、金属离子(去除率98%以上)及颗粒污染物表面改性:通过化学钝化形成保护层,防止二次污染工艺适配:低泡特性兼容超声波清洗,工作温度通常50-60℃环保性能:符合ROHS标准,无磷无重金属四、作用机理化学协同:碱性环境皂化油脂,络合剂剥离金属离子物理辅助:超声波空化效应增强颗粒去除表面保护:缓蚀剂抑制硅片表面腐蚀发黑悬浮稳定:切割液中分散剂维持磨料均匀分布 |